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   » Referenzauszug - Reinraumtechnik


Lagertechnik für Reinraumtechnologie
HMI-Ports
Reinraumlager mit Doppeltiefregalen
3D-Layout HMI-Ports
automatischer Bildablauf

 

Lager- und Transportsystem für Wafer aus Reinstsilicium in Reinräume bis ISO-Klasse 4 nach DIN EN ISO 14644-1.

 

  • Transport und Koordinierung über zwei Gebäudestockwerke hinaus
  • Automatische Entnahme und Abgabe des Fördergutes aus mobilen Transportwägen
  • Zwischenlagerung der FOUP in Doppeltiefregalen
  • Platzerkennung durch Kamerasystem
  • SWarePro Lagerverwaltungssoftware

 

Technische Daten:

  • Fördergut: Transportboxen für Siliciumwafer (FOUP)
  • Fördergutgewicht: 20kg
  • Taktzeit: bis zu 150 Stk. / h
  • Lagerplätze: ca. 200 Stk.
  • Wiederholgenauigkeit: +/- 0,2mm